file 26-1.gda
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doc_set 2006

技術戦略マップ(要旨)
MEMS分野の技術戦略マップ
I.基本的な考え方
(1)MEMS(MicroElectroMechanicalSystem微小電気機械システム)とは、電気回路(制御部)と微細な機械構造(駆動部)を一つの基板上に集積させた部品をいい、半導体製造技術やレーザー加工技術等各種の微細加工技術を用いて製造される。
情報通信、医療・バイオ、自動車など多様な分野における小型・高精度で省エネルギー性に優れた高性能のキーデバイスとして期待されており、我が国製造業の基幹部品の国際競争力強化等の観点から、重要な分野である。
(2)このため、今後10年程度を見据えて、日本のMEMS産業の国際競争力維持・強化のために必要となる高機能化、小型化、低コスト化等に資するMEMS製造技術を俯瞰し、技術戦略マップを作成する。
II.導入シナリオ(1)既に実用化されている単機能MEMSについては、自動車用センサやインクジェットプリンタヘッド等の分野で日本企業も健闘しているが、通信やプロジェクター等に使われる光MEMSや、今後の実用化が期待されるバイオMEMSの分野では欧米諸国が一部先行している。
我が国製造業の国際競争力を確保するためには、製造業の基盤を支えるキーテクノロジーの1つとなるMEMSの製造技術を一層高度化する必要がある。