file 37-1.gda
elems [33, 34]
vmap [([2,'',1.0],[0,0.0]),([0,'MEMS',1.000000],[21,22.999280]),([3,'',1.0],[0,0.0]),([1,'技術',1.000000],[22,5.000000])]
doc_set 2006

1998年250nm:
10年後のMEMS製品の具体的イメージ(参考)
【光MEMS】MEMS技術を用いることにより、光通信網で用いられる小型、高性能の光スイッチが実現し、従来の光電変換型のスイッチに比べ、省スペース、省エネルギー、低コスト化の効果が得られる。
これにより、通信速度の向上とともに災害時のバイパス回路の冗長度が増すなど高度情報通信社会の一層の高速化、信頼性向上に貢献することが期待される。
このような光MEMSの実現には、立体構造上へのパターン形成技術と機能性材料厚膜形成技術などが重要と考えられる。
【RF−MEMS】携帯電話等のモバイル機器に用いられている高周波部品が全てMEMS部品に置き換わることにより、低消費電力、低コストでの数十GHzの通信帯域が利用可能になり、有線LAN並みの情報伝達能力が実現される。
また同時に高周波部品の一体化製造が可能となり、携帯電話の省電力、省スペース化、高機能化が図られる。
このようなRF−MEMSの実現には、機能性材料厚膜形成技術とナノ材料局所形成技術などが重要と考えられる。