file fig42-2.gda
elems [219, 221]
vmap [([2,'',1.0],[0,0.0]),([0,'MEMS',1.000000],[177,57.498200]),([3,'',1.0],[0,0.0]),([1,'技術',1.000000],[179,14.000000])]
doc_set 2006

研究開発の取組み(続き)導入普及促進案その他の施策関連施策の取組み○ 人材育成環境整備○ 標準化20002005201020152025高精度3次元MEMS・RFスイッチ製造技術術開発・光可動ミラー製造技術開発・超小型MEMSセンサ製造開発技術開発微小機械システム開発製造委託拠点整備・拠点整備・製造技術開発等設計支援システムの開発・設計ソフトウェアの開発・データベースの開発等技能ライセンス認定制度(検定組織組織啓蒙活動認定獲得等)専門用語のIEC規格化材料の基本特性評価法のIEC規格化・力学特性評価、薄膜材料引張試験法、薄膜材料の疲労試験法、寿命加速試験法高集積・複合化・ナノ機能付加技術開発・MEMS半導体一体化(CMOS-MEMS)技術・MEMS・MEMS結合化技術・MEMS・ナノ機能融合技術製造委託クラスター・ネットワーク整備・全国へのネットワーク化・新技術の導入等設計支援システム開発・高度化・知識データベース更新等高度製造技術開発・デスクトップMEMSファクトリー・インテリジェントMEMS製造技術無線ネットワークMEMS普及に向けた環境整備自動車安全装置用MEMS普及に向けた環境整備バイオMEMS、インプランタブルMEMSに向けた環境整備大学等におけるMEMS専門教育の充実ネットワーク構築(人材育成、研究開発、異分野交流)デバイス特性・耐久性評価、仕様の規格化高集積・複合MEMSデバイス設計標準化革新的デバイスへの展開・先端技術(ロボット技術バイオ技術等)との融合・五感センシング・環境との融合