file fig91-3.gda
elems [188, 190]
vmap [([2,'',1.0],[0,0.0]),([0,'MEMS',1.000000],[150,34.498920]),([3,'',1.0],[0,0.0]),([1,'技術',1.000000],[152,12.000000])]
doc_set 2006

検査・技術評価各種検査・評価技術形状測定技術強度等デバイス特性評価技術システム信頼性評価技術生体情報評価技術設計・解析技術各種シミュレーション技術機構解析技術プロセス解析技術各種データベース製造システム技術多品種少量・省エネ・フレキシブル加工システム共通共通共通共通バイオ無線通信共通共通非接触3次元形状計測・評価3次元形状表面の膜厚分布計測・評価3次元形状表面の粗さ分布計測・評価気密封止評価ウエハレベル接合評価接合後のギャップ精度評価ウエハレベル接合応力分布評価疲労試験衝撃試験高周波対応システムの信頼性評価生体情報のその場観察装置&計測操作練成解析のシステム化、高度化MEMS材料加工をインテグレートしたマルチプロセスの解析実装信頼性評価MEMS材料の試験評価法と材料特性データベースMEMS製造技術の小型化・省エネ化・フレキシブル化生産スループット装置寸法対応可能なDB対象試験誤差対応可能なプロセス種対応可能な解析対象単一分子計測設備DNAピンセット細胞操作科学的計測分解能電気的計測分解能計測温度制御計測可能細胞、分子寸法・計測時間規格の制定試験法策定試験法策定測定精度接合後のギャップ精度計測感度検出レベル側壁粗さ測定精度側壁膜厚測定精度アスペクト比10(深さ100μm、溝幅10μm)mm幅、mm深さ、μm膜厚mm幅、mm深さ、μm膜厚できていないボイドサイズ1μmできていないできていないできていない1℃単一細胞複数細胞AFMAFMできていないできていない単独プロトタイプ機シリコン系材料DBシリコンプロセス解析パッケージレベル連成解析MEMS・電磁気回路統合解析溶液中細胞のMEMSによる物理的ソフトハンドリング単一細胞複数チャネル0.5℃100nm評価法確立研究レベル研究レベル応力値の定量化0.5μm50(深さ500μm、溝幅10μm)デバイス寸法1cm0.2μm寿命10年把持力検出機構の導入ー自由度ピンセット化学測定用fL容器信頼性試験解析(疲労、破壊、耐環境)チップ内多機能連成解析ナノ材料・MEMS統合プロセス解析ナノ材料DB高分子系材料DB50%(1800×1800上に4ユニット連動)プロトタイプ1800×900に6ユニット精度も同等5min/デバイス10min/デバイス5min/デバイス1800×900で通常MEMSシステム同等精度も同等バイオ材料DB10%バイオ材料・MEMS統合プロセス解析バイオ・分子連成解析多パラメータ測定ツール多自由度ピンセット複数MEMSによる多自由度細胞操作複数レセプタ単一レセプタ単一チャネル0.1℃50nm10nm1μmギャップが±0.1%で0.1μmウエハレベル8インチ10μm幅、数10μm深さ、0.1μm膜厚10μm幅、数10μm深さ、0.1μm膜厚50(深さ500μm、溝幅10μm)応力値の分布規格化開始規格化開始