file fig86-3.gda
elems [287]
vmap [([4,'',1.0],[0,0.0]),([0,'',1.0],[0,0.0]),([3,'',1.0],[0,0.0]),([1,'機械',1.000000],[238,3.639057]),([2,'',1.0],[0,0.0])]
doc_set 2006

技術領域分野要素技術機能ナノテクとしての技術課題固体電解質デバイス不揮発メモリ、機能可変ロジック新規原理による不揮発メモリ、カイロに搭載可能な機能可変ロジックの構築・高しきい値、高イオン伝道の固体電解質材料・動作高層化のためのナノギャップ構造NEMS/MEMSデバイス受動素子、能動素子(トランジスタ)静電もしくは圧電アクチュエータによる新機能の実現・材料探索(AIN系、PZT系など)・低温プロセスによる応力低減・成膜条件最適化領域分野要素技術機能ナノテクとしての技術課題電子部品実装関連技術CNT放熱&実装放熱技術コンデンサ配線・基板電池複合部品・チタン酸バリウム誘電率・リーク電流vs容量・鉛フリー化、高精細化高エネルギー、長寿命、高速充放電低温プロセス、薄型、複合化放熱によるデバイス性能向上放熱によるデバイス性能向上・コアシェル構造(微細粒子径焼結体<100nm)・薄膜積層法高容量キャパシタ技術・鉛フリー系各種合金・炭素系負極材料、金属系負極材料(Sn系、Li系、Si系)・表面での電動機構(燃料電池用電解質)・燃料電池用新電極材料(CNT)・有機フィルム上低温成膜誘電体薄膜・エアロゾルデポジション(AD)法薄膜(内装容量素子用高誘電率膜)・CNT成長技術、高密度化技術、自己組織化・多層CNTの熱電動機構・パンプ内めっき、パンプ内転写・多層CNT束機械特性・パンプ埋め込み・多層CNTの長尺成長・セラミックス・金属・ダイヤモンド等のコンポジット材料・ナノ粒子・超薄膜材料