file fig87-67.gda
elems [462, 464]
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doc_set 2006

対象部品シミュレーション名ベースとなるシミュレーション技術最終目標・用途LSIゲートメモリキャパシタ配線ワイヤー(透明電極)基板界面・表面薄膜界面印刷塗布ナノインプリント成膜バルク表面システム部材設計界面設計プロセス設計計測・評価デバイス(光、磁気、半導体)自動設計シミュレータ製造技術(主として情報家電分野向け)・第一原理高精度解析技術によるリーク電流予測・電気特性シミュレーション・量子効果シミュレーション・High-k膜シミュレーションFPMDMO,DF・電気特性シミュレーション・磁気特性シミュレーションFPMDMO,DF・配線形成シミュレーション・マイグレーション解析・粒界シミュレーション薄型化対応応力シミュレーション・第一原理高精度解析技術による界面強度予測・大規模分子シミュレーションによる高分子の挙動、反応解析・第一原理高精度解析技術による界面強度予測・マルチスケール解析ソフトマテリアル統合シミュレータ粘弾性流動、光硬化、乾燥シミュレータ・スパッタ・CVD・EB3Dナノ計測シミュレーション表面計測シミュレーションシステムシミュレーションFEMFDMMD,MO,DFT,MC均質化法フェーズフィールド法FEMFDM転移動力学FOMD、MO,DFTCGMDFPMD,MOMD,MO,DFFEM,FDMFEM,FDMFPMDMO,DFT探索手法CGMDDMFCGMDDMF統合システム高速高信頼先端LSI、ゲート類の開発高信頼・高機能高速・低消費電力高集積メモリ開発高信頼配線材料新規デバイスの機能予測界面の反応、破壊メカニズムの解明新規材料の物性予測、界面信頼性向上インクジェット印刷などにおける材料選択と条件だしの予測ナノインプリント技術を、材料、条件だしの両面から支援高純度・低コスト成膜最適化電子顕微鏡、などの情報を統合し3D画像を構築電子顕微鏡、nmスケールの3D画像をデバイスについての設計から製造までの一貫シミュレータ2005200620072008200920102011201220132014201520162017201820192020高速第一原理計算技術高精度第一原理計算技術複雑構造(不均一結晶系)モデリング・電気特性シミュレーション技術材料特性、電気・磁気・スケール効果に応じた最適第一原理計算電気特性・機械特性連携計算及びモデリング技術高精度第一原理計算技術電気特性高精度計算技術材料特性、電気・磁気・スケール効果に応じた最適第一原理計算電気特性・機械特性連携計算及びモデリング技術フェーズフィールド法と原子レベル解析連携技術高精度磁気シミュレーション(LLG等)ミクロ-マクロ連携技術の高精度、高速化(弱連成、強連成)マルチスケールリアルマイグレーションシミュレーション原子一転位動力学連携解析フェーズフィールド法と原子レベル解析連携技術複雑材料特性(磁気、電気、反応、腐食等)に応じたマルチスケール計算ミクロ-マクロ連携技術の高精度、高速化(弱連成、強連成)解析高速化(並列計算技術)原子一転位動力学連携解析マルチスケールリアル転移、粒界、応力シミュレーション複雑材料特性(磁気、電気、反応、腐食等)に応じたマルチスケール計算大規模高分子高速高精度分子動力学技術大規模高分子モデリング(粗視化含む)技術マルチスケール高分子集合体反応・挙動シミュレーション大規模表面反応・破壊シミュレーション長時間分子動力学技術高速第一原理計算技術大規模(多数原子)・高速分子動力学技術材料特性に応じた最適第一原理計算(柔軟に解析アルゴリズム、モデルの変更可能、励起解析)材料特性(磁気、電気、反応、腐食等)に応じた最適第一原理計算塗布流動シミュレータ蒸発・乾燥シミュレータ印刷・塗布統合化シミュレータ粘弾性体の押し込みのシミュレーションコンタクトラインなどについてのマルチスケールシミュレーションナノインプリンタ統合化シミュレータゲル化、光硬化反応のシミュレーション高速反応経路計算技術複雑反応モデリング技術大規模成膜モデル開発マルチスケールリアル成膜シミュレーション成膜条件探索シミュレーション電子顕微鏡、X線、陽電子回折などのデータをもとにした統合的3D画像構築システムの開発シミュレーションシステムへの組み込み局所的、機会的特性、電気特性、熱特性の測定モデル化とシミュレータの構築シミュレーションシステムへの組み込み統合化のための統合化のためのデータ形式整備統合化のためのデータ交換の作業データベース統合・計測・評価とシミュレーションの統合(計測された構造をもとに仮想実験をおこない、デバイスの性能評価や問題箇所を特定する。)・ナノプロセスの統合設計技術(目的とするナノ構造を印刷・塗布・ナノインプリント、CVDなどを組み合わせ作製するプロセスを設計する。)・自動デバイス結成技術バーチャル材料・デバイス作成工場(目標を与える自動的にデバイス構造を設計)・マルチスケール材料解析技術の構築デバイス製造・解析自動調整技術