file 26-4.gda
elems [135, 136]
vmap [([2,'',1.0],[0,0.0]),([0,'MEMS',1.000000],[81,3.833213]),([3,'例',1.000000],[82,3.639057]),([1,'',1.0],[0,0.0])]
doc_set 2006

低コスト化に資する技術として、マイクロプレス成形技術(ナノインプリンティング技術)、パッケージ技術(高度実装技術)等
技術基盤の確立として、各種シミュレーション技術(プロセス解析技術)、多品種・少量・省エネ・フレキシブル加工技術等
が挙げられる。
これら重要技術課題は、技術マップの中に色分けして明示されている。
ロードマップ技術マップに示した技術課題ごとに、研究開発により達成されるべきスペックを示した。
プロジェクタの表示デバイス
自動車のエアバック用加速度センサ
モバイル通信用RFデバイス光通信デバイス多様な分野で活用されるMEMS