file fig98-1.gda
elems [152]
vmap [([2,'',1.0],[0,0.0]),([0,'MEMS',1.000000],[108,3.833213]),([3,'',1.0],[0,0.0]),([1,'',1.0],[0,0.0])]
doc_set 2006

情報通信分野の技術マップ(1)技術分野分野大項目中項目小項目分野構造重要技術半導体デバイス・プロセス技術支援技術設計(SoC設計)テストDFTシリコンインプリメンテーション技術システムレベル設計・検証設計コンテンツ計測技術歩留り向上技術実装配送リソグラフィプロセス技術LSTPデバイス技術デバイス微細化ナノCMOSへ向けた新技術混載技術新混載技術デバイスシミュレーション技術微細化プロセス洗浄技術プロセスシミュレーション技術シリコン基板露光装置・レジスト・プロセス技術マスク技術多層配線技術層間絶縁膜配線材料配線のモデリング新規配線技術単一チップ実装3次元実装MEMS実装欠陥検出・故障解析技術歩留りモデルの構築測長技術・形状観察技術新材料の評価解析技術ばらつき評価技術システムドライバモジュール間通信技術マルチコア技術リコンフィギュラブルロジック高位モデリング技術合成・最適化技術検証技術性能・コスト見積り技術システム高付加価値化技術システム複合化対応低消費電力化設計製造性考慮設計(DFM、DFR、MASK)アナログ混載IPベース設計ライブラリ設計回路設計上位DFBISR