file figsn_manu4_page11.gda
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doc_set 2007

部品産業の喝采競争維持・強化安全・安心・快適社会への貢献新しいライフスタイルの創出MEMS製造技術の高度化(高性能・高信頼性・低コスト)マイクロ・なの十号製造技術の各位目標単機能MEMS光スイッチ、圧力スイッチ、圧力センサ、エアバッグ用加速度センサー、ジャイロセンサー、インクジェットヘッド、DNAチップなど高度化単機能MEMSRFデバイス、SIPセンサー、DMD,スキャナ/スイッチ用ミラーなど高集積MEMS機能複合化通信機器、安全保険機器、検査機器、生体センシング機器、防犯機器、防災機器など革新的MEMS(名の・バイオ融合・自立分散)エネルギーはーべスティング、オンサイト環境浄化デバイス、シート型健康管理デバイス、体内埋込デバイス。雰囲気伝送・再生デバイス、アンピエントインテリジェンスなど市場の動向企業の取組み半導体製造装置を使った加工技術の開発と単機能MEMSの製造・低コスト化とMEMSプロセス・特性の評価技術の基盤構築システム技術の蓄積専用製造装置を使った単機能MEMSデバイスの高精度か・低コスト化徒弟環境負荷化設計・評価装置導入、開発期間短縮、多品種小量への対応高集積複合MEMSの新デバイスへの展開革新的MEMSの展開環境・エネルギー、医療・福祉分野へのデバイス展開なの・バイオ融合MEMSプロセスの蓄積CMOS-MEMSファウンドリーサービスの提供MEMS専用パッケージサービスの提供多数のMEMSベンチャーの設立基盤技術開発用研究所・部門の設立MEMS専用製造装置による生産システムの構築MEMSファウンドリーサービスの提供研究開発の取組み(中期)光MEMS高精度三次元MEMSRFスイッチ製造技術開発光可動ミラー製造技術開発超小型MEMSセンサー高集積・複合化・ナノ機能付加技術開発MEMS半導体一体化(CMOS-MEMS)技術MEMS-MEMS結豪華技術MEMS・ナノ機能融合技術革新的デバイス基盤技術開発ナノ・バイオ融合プロセス異種融合・海面制御技術大面積化連続化プロセスエネルギーハーベースディングオンサイト環境浄化シート型デバイス体内埋め込みデバイス雰囲気伝送・再生(五感)光通信網で用いられる小型、高性能の光スイッチの実現ー>省スベース、省エネルギー、低コスト化ー>通信速度の向上ともに災害的のバイバス回路の冗長度が増すなど、高度情報通信会社の一層の高速化、信頼性向上に貢献立体構造上へのバターン形成技術、光素子チップ実装、フィードバックセンサ集積化、機能性材料厚膜形成技術,等の開発RF-MEMSモバイル機器の高周部品がMEMS部品化ー>低消費電力、低コストでの数+GHzのて通信帯域の利用が可能ー>高伝達能力化。高周波部品の一体構造化ー>携帯電話等のモバイル機器の省電力,省スペース化、高機能化機能性材料厚膜形成技術、ナノ材料局所形成技術、等の開発加速度センサ等のMEMSセンサーがより小型、低コスト、高機能化ー>小型一般車に各種姿勢制御センサ、紫外線センサ、ワイヤレスネットワーク化、障害物素探知用レーザーレーダ等の採用拡大ー>交通のより一層の快適性、安全性の向上に貢献MEMS・半導体共存構造の生計技術、接合・組立技術,等の開発携帯可能な安価で小型の人体の体液・においセンサ等の検査キットの開発→存宅出の診断や予防医療が可能。細胞・生体分子の物理マニピュレーション用MEMSを用いた検査・評価技術の開発→バイオナノテクノロジ研究を加速科学的・バイオ的表面修飾技術,ナノインプリンティング技術、等の開発検査・評価技術、等の開発三次元構造の表面清浄化技術の開発・MEMSパッケージング技術の開発MEMS共存バイオMEMSセンサMEMSMEMS分野の導入シナリオ20052010201520002025