file figrm_nano1_page88.gda
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doc_set 2007

ナノテクノロジー分野のロードマップ(04共通基盤_01ナノ加工_ナノインプリント・精密ビーム加工)2007200820092010201120122014201320152016201720182019202020212022202320242025202620272028202920302006出口出口製品・部品名称名称(技術名称)(新産業創造戦略の出口)出口サービス出口製品・技術分類具体的製品(要素/プロセス(出口に貢献するナノ加工の名称)技術の概要研究開発課題左記技術の実用化に向けた研究開発課題2次元ナノスキャホールドスキャホールド3次元ナノスキャホールド再生医療医療セルチップ微細加工プロセス及び表面修飾プロセス局在表面ブラズモントランスデューサセンサー・トランスデューサ診断質量検出型センサーMEMSSi半導体超微細半導体デバイス(LSI,DRAMなど)露光代替技術配線工程パワーデバイス大電力パワートランジスタ(SiC系)ダイシング技術・熱ナノインプリント・光ナノインプリント高アスベクト比を有する微細構造体ナノビラーなど)・リバーサルインプリント・リバーサルインプリント法によるナノチャネルを有する3次元スキャホールド・ナノインプリント・マイクロコンタクトプリントアッサイ、スクリーニングのための細胞配置技術の低コスト化・ナノインプリント血液、尿、唾液中の微量生体物質高感度検出が可能なバイオセンサー・複合ビーム加工(ナノ加工による振動子の作成)・光ナノインプリント光露光では難しい32nmhp以降のバターン転写・光ナノインプリント(デュアルダマシン)ホールとラインの同時形成によるプロセスの簡素化-フェムト秒レーザー加工集光フェムト秒レーザーによるレーザースクライビング技術・スキャホールド材料の選択と最適化、及びその材料にあった型選択と加工方法の開発・製造プロセスの高速化・金型再生(低価格化)・製造プロセスの高度化・高精度な位置あわせ機械などの周辺技術の開発・3Dスキャホールド材料の選択と最適化、及びその材料にあった型選択と加工方法の開発・製造プロセスの高速化・金型再生(低価格化)・生体親知、細胞親知材料を用いたナノインプリント技術の確立・マイクロコンタクトプリントによる表面修飾・大面積高密度化・ナノ周期構造の最適化によるセンサーの高感度化・プロセスの改善による作製のハイスルーブット化-ナノギャップの作製加工技術-微小振動子の作製のためのMEMS技術-PZTやZnO、AIN等の圧電、強誘電体導膜の成膜-熱処理-位置精度、位置あわせ精度-欠陥対策-残膜の導膜化均ー化-バ短形成の信頼性-モール度作製、検査、修飾含む低コスト化)-高スルーブット化・重ね合わせ精度・感光性Lcmk材の開発・永久膜としての信頼性・残膜の導膜化と均一化・無欠陥化最適光半系の設計スペックスペックスペックスペックスペックスペックスペック皮膚や角膜など単層培養技術の開発実施時期皮膚や角膜などを単層で培養し活性を維持したまま回収可能な足場材料を作製するためのナノインプリント技術開発神経、心筋など形状の制御や機能発現が必要な培養技術の開発肝臓や膵臓のような複雑な組織作製を可能にする培養技術の開発細胞の形状制御や機能発現が必要な神経、心筋等の足場材料を作製するためのナノインプリント技術開発肝臓や膵臓のような複雑な組織作製を可能にする、分化制御技術、細胞プリント技術、積層化技術との融合大量培養、安定培養を実現する自動培養装置との組み合わせ技術の開発足場材料の改良に応じた低コスト生産に向けた大面積・高スループット微細加工技術の開発(大面積一括転写、高速Step&Repeat、シートインプリント)セラミック等へのナノインプリントの精度は数ミクロン、および3Dわせ精度は成型&シンタリング後数十ミクロン(シンタリング後の収縮に注意)セラミック等のナノインプリントの精度および合わせ精度;成型&シンタリング後数ミクロンシンタリング後の収縮に注意)明確な形状を持つ骨、等の足場材の3Dナノインプリント技術の開発柔軟な形状を要求する軟骨組織、等の足場材料技術の開発数ミクロンのアライメント精度を持つ、単純パターンの積層特定の臓器細胞を培養可能な3D足場材料の3Dナノインプリントによる実現より複雑な機能(薬剤添加等)の機能を持つを足場材の3Dナノインプリント技術の開発ハイスループットスクリーニングを可能にするセルチップとの融合プラスチック等へのナノインプリントの加工精度は1ミクロン以下、および高さ方向の制度は100nm細胞の機能を温存したまま固定する、材料技術、表面修飾の開発チップ上のナノ構造の最適化によるセンサーの高度化微細加工プロセスの改善⇒さらなるハイスループット化ナノインプリント技術によるセンサーチップ上のナノ周期構造のローコスト・ハイスループットな複製化光電場増強効果の増大(金属ナノギャップ:10~20nm)10MHzから50MHzの水晶発振器を用いたバイオセンサー水晶上に受容体蛋白を安定に修飾する技術の開発、水晶をマイクロ加工して高周波で安定発振させる技術の開発セラミック等のナノインプリントの精度および合わせ精度;成型&シンタリング後数ミクロンシンタリング後の収縮に注意)細胞をアレイ状態にして長時間培養し、その後観察・計測するための、機能的マイクロフリューディックス技術との融合血液、尿、唾液中の微量生体物質高感度検出が可能なバイオセンサーとして一部実用化(定性的な検出チップとしての利用)、ゆらぎ5nmハイスループットスクリーニングを可能にするための各種、高速・高機能反応炉と、細胞をアレイ状態として長時間培養し、その後観察・計測するための、機能的マイクロフリューディックス技術とを高度に集積化する技術、またそれを支えるNMEMS・材料技術2.6高機能セルチップで選択したターゲット細胞や、高い機能を発現する薬剤をもちいて、様々な応用に最適化可能な次世代ハイスループット処理を実現可能とする、高度マイクロフリューディックス集積化技術、またそれを支えるNMEMS・材料技術ナノインプリントパターンの精密化使いやすさ・利便性の向上電子カルテ対応などのシステム化臨床データ・実績の蓄積50MHzから200MHzの水晶発振器やSAWによるバイオセンサー、また化学センサー、2MHz程度のMEMS型微小質量センサー振動型センサーと、検出回路を総合的に10%の精度でシミュレーションできるマルチ物理計算技術5MHzから50MHzのMEMS型微小質量センサーを用いたバイオセンサー、化学センサー集積化され、かつ並列処理されたた50MHzから200MHzのMEMS型微小質量センサーを用いたバイオセンサー、化学センサーMEMS振動型センサーと、検出回路、周辺環境、分子認識膜を総合的にシミュレーションできるマルチ物理、マルチスケール計算技術MEMSカンチレバー型センサーに受容体蛋白を安定に修飾する技術の開発、高いQ値を保って高周波で安定発振させる技術の開発センサーネットワークに乗せて、どこでも瞬時にセンサー情報を取得可能な、低消費電力で動作する集積化MEMSセンサーの技術開発高いQ値、広い分子認識面、高い共振周波数を合わせ持つ、集積化MEMSセンサーの技術開発高いQ値、広い分子認識面、高い共振周波数を合わせ持つ、多数の並列処理を可能とする集積化MEMSセンサーの技術開発振動型質量センサーにQ値を落とさず、安定して成膜できる分子認識膜の作成方法、特定の分子を認識するナノ分子設計技術蛋白や酵素、空気中のVOCにおいて、それぞれの分子に対して高い選択性と信頼性をもち、Q値を落とさず安定して成膜できる分子認識膜の作成方法、更に進んだ機能分子モデルに基づいたナノ分子設計技術持つ、多数の並列処理を可能とする集積化MEMSセンサーの技術開発小分子から高分子までの分子を統一的な手段に基づいて、Q値を落とさず安定して成膜できる分子認識膜の作成方法、更に進んだ機能分子モデルに基づいたナノ分子設計技術DRAMhp(nm)65GateCD制御、3σ(nm)線幅ラフネス、3σ(nm)70572.93.42.33.8350402.12.7451.92.41.72.1351.51.9321.31.7281.21.52511.3220.91.2200.81.1180.70.9160.70.8140.60.8高精度位置計測技術の確立(±1nm)ナノインプリント法に則したデバイス設計・技術開発インプリント装置重ね合せ精度の向上(nm)、3σ5322既存の光硬化樹脂で概念実証Low-k特性を有する光硬化樹脂の開発SuperLow-k特性を有する光硬化樹脂の開発残膜の薄膜化と無欠陥化永久膜としての信頼性の確立HP32nmに対応した重ね合せ精度の確立重ね合せ精度の向上線幅=15μm線幅=5μm線幅1μm以下高速加工のための小型フェムト秒レーザー光源の開発(パルス幅:100fs、繰り返し周波数:500kHz、パワー:100Wクラス)最適加工を行うための時空間パルス制御技術の開発(ビーム形状・サイズ、パルス幅、チャープ、位相制御)加工状況のinsitu計測技術の開発(加工部位の圧力、温度、など)超高速加工のための高性能小型フェムト秒レーザー光源の開発(パルス幅:100fs、繰り返し周波数:1MHz(可変)、パワー:1kWクラス)insitu計測に基づき最適加工のためのパルス制御を自動的に行うせるself-learningアルゴリズム技術の開発定量的に分析できるセンサーシステムとして構築、ゆらぎ1~2nm情報家電実施時間実施時間実施時間実施時間実施時間実施時間実施時間実施時間実施時間実施時間実施時間