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doc_set 2007

20002005201020152025研究開発の取り組み(長期)○マイクロ・ナノ融合製造技術○マイクロ・ナノ融合製造技術○革新的MEMS【長期基盤技術研究開発の狙い】トップダウンプロセスである微細加工と、ボトムアッププロセスであるナノ・バイオプロセスとを融合したマイクロ・ナノ統合製造技術の確立により、応用範囲を急速に広げ国家・社会的課題である「環境・エネルギー」、「医療・福祉」、「安心・安全」分野で新しいライフスタイルを創出するナノ・バイオ融合及び自律分散で機能する革新的キーデバイスとして広く浸透させる3次元ナノ構造形成技術開発・エッチング、成膜、成形による形成・異種材料レイアバイレイア異種融合・界面制御技術開発・生体機能材料形成、活性生体分子融合技術・自己組織化界面制御技術、自律的配線技術プロセス大面積化・連続化・マイクロ・ナノ印刷技術・大面積・連続レジストレーション技術環境・エネルギーエネルギーハーベスティングオンサイト環境浄化デバイス医療・福祉医療・福祉シート型健康管理デバイス体内埋込デバイス安心・安全アンビエントインテリジェンスデバイス雰囲気伝送・再生デバイス・トップダウンプロセスである微細加工と、ボトムアッププロセスであるナノ・バイオプロセスの融合による「ものづくり革新」・重点推進3次元ナノ構造形成異種融合技術、界面制御プロセス大面積化・連続化マイクロ・ナノ融合製造技術により実現されるデバイス、新しいライフスタイルを創出する・重点分野環境・エネルギー医療・福祉安心・安全関連施策の取組み導入普及促進策その他の施策微小機械システム開発製造委託拠点整備・拠点整備製造技術開発等設計支援システム開発・設計ソフトウェアの開発・データベース開発等○人材育成環境整備標準化専門用語のIEC規格化基盤共通技術のIEC規格化・材料試験法(薄膜材料引張試験法、薄膜材料の疲労試験法、寿命加速試験法等)・加工プロセス評価法(表面粗さ・プロファイル等)・基盤共通複合分野の試験法(衝撃試験法等)大学等におけるMEMS専門教育の充実マイクロ・ナノ・バイオ融合研究人材育成革新研究マネジメント人材育成ネットワーク構築(人材育成、研究開発、異分野交流)MEMSデバイスのIEC規格化・情報通信用MEMSデバイス(加速度・角速度・地磁気センサ等)・自動車用MEMSデバイス(加速度・ヨーレート・エアフローセンサ等)バイオMEMS、インプランタブルMEMSに向けた環境整備自動車安全装置用MEMS普及に向けた環境整備無線ネットワークMEMS普及に向けた環境整備バイオMEMS、インプランタブルMEMSに向けた環境整備技能ライセンス認定制度(・検定組織啓蒙活動認定獲得等)ナノ・バイオ融合、自律分散基盤技術開発マイクロ・ナノ統合製造技術・ナノ・バイオ融合、自律分散デバイス基盤研究開発拠点設立高度製造技術開発・デスクトップMEMSファクトリー・インテリジェントMEMS製造技術設計支援システム開発高度化・知識データベース更新等製造委託クラスター・ネットワーク整備全国へのネットワーク化・新技術の導入等MEMS分野の導入シナリオ