file figtm_manu4_page13.gda
elems [367, 396, 399]
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doc_set 2007

MEMS分野の技術マップMEMS要素技術分野エッチング技術高精度・微細エッチング技術高アスペクト比貫通孔形成技術高アスペクト比ナノトレンチ加工技術ディープドライエッチング技術高精度微細エッチング技術大面積均一エッチング技術非シリコン材料加工技術無損傷加工技術共通共通共通無線通信、共通無線通信、バイオ無線通信共通共通エネルギー共通共通共通共通共通バイオ、共通共通、無線通信安心・安全、環境、エネルギー光、無線通信、共通光共通共通共通共通共通共通共通共通共通共通共通共通光バイオ、共通バイオ、共通3次元ナノ構造形成技術3次元表面加工技術自由曲面加工技術立体構造上へのパターン形成技術シングルポイントプロセス技術ナノピラー形成技術ナノポーラス形成技術ナノプローブ加工技術LSIプロセス融合ダメージフリーエッチング技術ナノプローブ・エッチング加工技術MEMS・半導体共存構造の低損傷エッチング技術成膜技術高品位厚・薄膜成膜技術機能性材料厚膜形成技術機能性材料ナノ薄膜多層形成技術平滑・低残留応力薄膜形成技術-3次元低温成膜技術3次元ナノ構造形成技術3次元形状表面上成膜技術シングルポイントプロセス技術ナノポーラス膜形成技術ナノピラー形成技術LSIプロセス融合成膜技術MEMS・半導体共存構造の低ストレス・高耐久性薄膜形成技術成形技術マイクロプレス成形技術ナノインプリンティング技術-低損傷パターニング技術ナノフォーミング技術ナノ転写・形成複合プロセス技術マイクロエンボス加工技術マイクロ粉体成形技術マイクロ鋳造技術3次元ナノ構造形成技術ナノ粉体成形加工技術貫通孔埋め戻し技術3次元マイクロ立体型成形技術3次元表面ナノ加工技術3次元自由曲面エンボス加工技術3次元表面修飾技術3次元形状めっき成形技術MEMS要素技術分野共通共通共通共通共通共通共通共通共通共通共通共通共通共通共通共通共通形成技術(機能化・表面改質)共通共通共通共通共通共通共通共通共通ナノ機能材料選択的形成技術ナノ材料局所形成技術ナノ材料ウエハレベル形成技術ナノデバイスマニピュレーション技術ナノ材料ビルドアップ技術生体機能材料形成技術生体分子配向技術細胞配置・カプセル化技術無線通信、バイオエネルギー、環境、医療・福祉エネルギー、環境、医療・福祉エネルギー、環境、医療・福祉細胞の組織化技術化学的・バイオ的表面修飾技術エネルギー、環境、医療・福祉機能性表面形成技術(界面制御・表面修飾技術、加工損傷回復技術)分子の自己組織化現象応用界面制御技術ナノ粒子自己整列技術脂質二重層形成技術金属・有機半導体の界面制御技術有機・絶縁膜の界面制御技術印刷方式表面修飾技術加工損傷回復技術LSIプロセス融合成形技術可動ナノ構造形成技術MEMS・半導体共存構造の成形技術可動ナノ構造の形成技術異種融合技術ナノ・バイオ融合技術界面制御技術活性細胞融合技術活性生体分子融合技術環境、医療・福祉環境、医療・福祉環境、医療・福祉3次元構造形成技術異種材料レイアバイレイア積層技術異種材料の厚膜積層技術パターン付き成膜および多層化技術メカ/バイオ/半導体ハイブリッド積層技術3次元ナノ構造移植・積層技術自己組織化技術セルフアライメントによる位置決め技術マルチCNTプローブ製造技術配線技術ナノホール選択金属成長技術ナノワイア選択配線技術CNT成長用触媒粒子の自己組織化配列技術CNT配線技術自律的配線形成技術伸縮性導体形成技術組立技術界面物性評価技術界面制御を利用した自律組立技術界面物理化学評価技術ナノ領域におけるトライボロジー評価技術バイオ安心・安全中期的な視点での重要技術長期的な視点での重要技術