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elems [253, 255]
vmap [([2,'',1.0],[0,0.0]),([0,'MEMS',1.000000],[166,11.317766]),([3,'',1.0],[0,0.0]),([1,'技術',1.000000],[168,10.000000])]
doc_set 2007

MEMS要素技術分野プロセス連続化・大面積化技術プロセス大面積化技術大面積高密度マルチプローブ加工技術高品位厚膜の大面積・連続プロセス化(mオーダ)技術大面積ナノパターン加工技術(ナノ・マイクロ加工技術)高精度アライメント:大面積(mオーダ)サブmm精度アライメント技術共通共通共通共通共通共通共通共通共通共通共通共通共通共通共通共通共通共通共通共通共通共通共通共通共通共通共通印刷による成膜技術印刷方式表面修飾技術マイクロナノ印刷技術大面積印刷のレジストレーション(重ね合わせ)技術ナノインプリント連続成形技術(含むローラー式転写技術)プロセス連続化技術連続EBプロセス技術連続FIBプロセス技術前・後処理技術表面清浄化技術構造表面洗浄技術実装技術組立技術高精度位置決め技術MEMS・半導体共存の接合・組立技術接合技術低温・低応力接合技術パッケージ技術封止技術高度実装技術光、無線通信、バイオ、共通光、エネルギー、センサ、共通トリミング技術カッティング技術検査・評価技術各種検査・評価技術形状測定技術強度等デバイス特性評価技術システム信頼性評価技術生体情報評価技術無線通信バイオ、医療・福祉微小領域における物理量計測技術検査評価用解析技術設計・解析技術MEMSシミュレーション技術機構解析技術プロセス解析技術システム化解析技術マルチスケールシミュレーション技術ナノ/マイクロ/マクロ境界領域の解析モデリング技術マルチフィジクスシミュレーション技術電場・磁場・構造・熱・流体の連成解析技術分子オーダーメゾオーダーまでの解析技術分子オーダーメゾオーダーまでの解析技術材料・界面・プロセス・知識データベース構築製造システム技術多品種少量・省エネ・フレキシブル加工システム技術センサMEMS分野の技術マップ