file figtm_nano1_page79.gda
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doc_set 2007

出口名称(材料・技術名称)技術の概要研究開発課題ナノテクノロジー分野の技術マップ(04_01ナノ加工_ナノ空間)評価指標(出口への貢献/ボトルネック性ナノテクノロジーの寄与技術的優位性産学連携/異分野連携などの必要性基盤性市場・社会へのインパクト情報家電半導体等製造装置光デバイス光学材料反射防止膜露光装置微粒子モニターウエハー研磨粒子低誘電率材料低誘電率デバイス製造技術巨大光学機器共通基盤技術・評価技術光学系SiCミラーナノ空間薄膜半導体・液晶用ステージ、テーブルnmサイズの微粒子を測定できるセンサーならびにそのセンサーを含んだモニターナノ空孔含有ポリマーナノ粒子半導体素子の微細化のため、層間絶縁膜を低誘電率絶縁膜。ナノ構造化SiCナノ空間の構造体評価、計測技術100nm以下のナノ空間を含有した低屈折率材料ナノポア分散等により軽量化されたステージ材、テーブル材。高比剛性で全体サイズが数mクラス5~30nmサイズの微粒子を数個単位で測定できるようなナノ構造制御されたセンサー超臨界二酸化炭素によるナノ空孔含有ポリマーナノ粒子の大量合成技術気孔率の制御及び気孔径をナノサイズで制御。目標誘電率2.0以下光学系ミラーに使用する為の、ナノ構造制御・高強度SiC直径数nmのナノ空間構造体の微構造・機械的性質の評価・計測技術ナノ空間設計技術。ナノ空間材料とポリマーのハイブリット化。高度分散技術。?ナノポア分散セラミックス、?部材化各部応力に応じたヘテロ構造、大型化?軽量/薄肉構造体の開発?表面研磨加工技術の開発?非破壊検査/設計法の開発超臨界二酸化炭素による高速・大量合成技術開発粒径制御技術開発空孔制御技術開発・大型化(直径2m級)の開発軽量/薄肉構造体の開発表面研磨加工技術の開発非破壊検査/設計法の開発ナノ空間構造体微構造・機械特性評価技術○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○