file figrm_manu4_page20.gda
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doc_set 2007

MEMS分野のロードマップMEMS要素技術分類ー1分類ー2重要技術課題分野指標ウエハレベル接合応力分布評価測定精度できていない疲労試験試験法策定できていないできていない試験法策定衝撃試験システム信頼性評価技術生体情報評価技術無線通信バイオ、医療・福祉微小領域における物理量計測技術検査評価用解析技術共通共通設計・解析技術MEMSシミュレーション技術構造解析技術プロセス解析技術共通共通共通共通共通共通共通システム化解析技術マルチスケールシミュレーション技術ナノ/マイクロ/マクロ境界領域の解析モデリング技術マルチフィジクスシミュレーション電場・磁場・構造・熱・流体の連成解析分子オーダーメゾーダーまでの解析データベース構築構造システム技術多品種少量・省エネ・フレキシブル加工システム材料・界面・プロセス・知識分子オーダーメゾーダーまでの解析共通2006年2011年2010年2009年2008年2007年2025年2015年2014年2013年2012年製品(MEMS技術の適用品)単結晶材料平面分解能10?m応力測定精度1Mpa引張り試験法策定(Si)研究レベル規格化開始曲げ試験法策定(Si)非晶質材料平面分解能10?m応力測定精度1Mpa捩れ試験法策定(Si)Si系材料、金属、ブラスチック材料疲労試験規格成立Si系材料、金属、ブラスチック材料電気的疲労試験規格成立Si系材料、金属、ブラスチック材料疲労試験規格成立非晶質材料平面分解能10?m応力測定精度1Mpa非晶質材料空間解能10?m応力測定精度1Mpa非破壊3次元分布可動構造を有するMEMS製品全般可動構造を有するMEMS製品全般集積RF?MEMSファインMEMS高周波対応システムの信頼性評価生体情報のその場観察装置&計測操作規格の制定計測可能細胞、分子寸法・計測時間計測温度制御電気的計測分解能化学的計測分解能細胞操作掌性(キラリティ構造計測分子レベルでの温度計測光による温度計測温度・圧力等の分布走査型熱顕微鏡ひずみセンサ検査評価用解析技術のシステム対象材料/プロセス評価法確率1S100nm1℃0.5℃1S50nm0.1℃1S1nm1S10nm0.01℃単ーチャネル単?レセプタ複数MEMSによる多自由度細胞操作複数レセプタ単分子レベル原子分子レベルAFMプローブ(光ファイバ)先端の微細化?m領域の平均値分子レベルでの計測?m空間分解能AFMプローブ(SThM)先端の微細化(~20nm)センサと増幅回路、送信回路の一体化サブミクロン領域の温度、圧力、流速分布などの計測バイオ材料/プロセスナノ材料/プロセスマクロの平均値MEMS材料/プロセスサブミリメータ、微小流路の平均値センサの微小化温度計測の定量化(マイクロセータの付加)温度センサ付AFM(SThM)プローブの先鋭化半導体による計測マクロの平均値サブミリメータ領域の平均値極細光ファイバによる集光薄膜レベルバルク材光ファイバ+AFM溶液中細胞のMEMSによる物理的ソフトハンドリング把特力検出機構の導入単ー細胞複数チャネル単ー細胞複数細胞連成解析のシステム化、高度化対応可能な解析対象パッケージレベル連成解析MEMS材料加工をインテグレートしたマルチプロセスの解析対応可能なプロセス種MEMS・電磁気回路統合解析シリコンプロセス解析実装信頼性評価試算誤差できていないシステム化技術の高度化対応可能な素子解析境界領域間パルメータの抽出単ーMEMS素子単ー分子・格子レベル解析できる現象計算精度と時間および結果の可視化技術対象境界計算精度と計算時間部品レベル強連成・弱連成を含めたモデル化および解析手法の確立第?原理からMDおよび連続体近似を含めたモデル化と解析テ法の確立解析できる現象計算精度と時間および結果の可視化技術単ー物質・単ー格子レベルMEMS材料の試験評価法と材料特性データベース対応可能なDB対象シリコン系材料DBMEMS製造技術の小型化・省エネ化/フレキシブル化装置寸法単独ブロトタイプ機消費電力生産スループットできていない10min/デバイス5min/デバイス1min/デバイス0.1min/デバイス1kW以下5kW以下2kW以下15kW以下(1800x1800上に4ユニット連動)ブロトタイプ1800x1900に6ユニット(精度も同等)1800x900で通常MEMSシステム同等(精度も同等)小型化DB充実バイオ材料DBナノ材料DB高分子系材料DB微小領域におけるシステムレベルでの解析数部品から数十部品レベルでのシステムしミュレーション単機能構造部品レベルでの解析システムレベル回路を含む前システムレベルでの解析ナノ/マイクロ/マクロ連成作成プロセスを考慮した構造・機能最適化バイオ材料/MEMS素子10%50%マイクロ/マクロ連成ナノ/マイクロ連成複数MEMS/ICナノ材料/MEMS素子異種材料とのハイブリッド複数材料を含むモデリング信頼性試験解析(疲労、破壊、耐環境)チップ内多機能連成解析ナノ材料・MEMS統合プロセス解析バイオ材料・MEMS統合プロセス解析バイオ・分子連成解析薬剤・生理活性物質の織別光強度を測定できる原子間力顕微鏡、熱伝導率を測定できる顕微鏡、定量測定可能な走査型熱顕微鏡(SThM)、無配線で圧力を送信できるシステムMEMS製品全般MEMS製品全般MEMS製品全般製造システム医療用等現場製造・単品製造品目共通強度等デバイス特性評価技術検査・評価技術各種検査・評価技術