file figtm_nano1_page65.gda
elems [27]
vmap [([1,'サービス',1.000000],[22,3.564949]),([0,'',1.0],[0,0.0])]
doc_set 2007

ナノテクノロジー分野の技術マップ(04共通基盤_01ナノ加工_ナノインプリント・精密ビーム加工)出口(新産業創造戦略の出口)出口サービス出口製品・部品名称出口製品・技術分類具体的製品(要素/プロセス名称(技術名称)(出口に貢献するナノ加工の名称)技術の概要左記技術の実用化に向けた研究開発課題研究開発課題評価指標出口への貢献/ボトルネック性ナノテクノロジーの寄与技術的優位性産学連携/異分野連携などの必要性基盤性市場・社会へのインパクト医療再生医療スキャホールド2次元ナノスキャホールド3次元ナノスキャホールドセルチップ・熱ナノインプリント・光ナノインプリント・リバーサルインプリント高アスペクト比を有する微細構造体(ナノピラーなど)・スキャホールド材料の選択と最適化、およびその材料にあった型選択と加工方法の開発・製造プロセスの高速化・金型再生(低価格化)・製造プロセスの高度化・高精度な位置合わせ機構などの周辺技術の開発リバーサルインプリント法によるナノチャネルを有する3次元スキャホールド・3Dスキャホールド材料の選択と最適化、およびその材料にあった型選択と加工方法の開発・製造プロセスの高速化・金型再生(低価格化)・スキャホールド材料の選択と最適化・製造プロセスの高速化微細加工プロセスおよび表面修飾プロセス・ナノインプリント・マイクロコンタクトプリントアッセイ、スクリーニングのための細胞配置技術の低コスト化・生体親和、細胞親和材料を用いたナノインプリント技術の確立・マイクロコンタクトプリントによる表面修飾・大面積高密度化・ナノ周期構造の最適化によるセンサーの高感度化・プロセスの改善による作製のハイスループット化・高アスペクト比ナノ構造形成・低コスト化・ナノギャップの作成加工技術・微小振動子の作成のためのMEMS技術・PZTやZnO、AlN等の圧電・強誘電体薄膜の成膜・熱処理局在表面プラズモントランスデューサ質量検出型センサーMEMS・複合ビーム加工(ナノ加工による振動子の作成)・ナノインプリント・積層型ナノインプリント血液、尿、唾液中の微量生体物質高感度検出が可能なバイオセンサーナノインプリント・基板製造コストの低価格化・基板へのDNA配置の高速化・高感度化・側面の平滑性、高アスペクト比・LIGA(LithographieGalvanoformungundAbformung)・X線・レーザ三次元構造体にビーム照射して空孔を作製し良質のスキャホールドを形成積層型ナノインプリントによりナノチャネルを有する生体親和材料形成(スキャホールド材料と同様)・基板製造コストの低価格化・基板へのDNA配置の高速化・高感度化・側面の平滑性、高アスペクト比・ナノメートル構造物の作製・分析感度の向上・ナノピラーによる分離検出・駆動ポンプなどのナノ機構の集積化微小部品へのナノインプリントの適用、自動化・ナノギャップの作成加工技術・微小振動子の作成のためのMEMS技術・PZTやZnO、AlN等の圧電・強誘電体薄膜の成膜・熱処理・微細可動電極の作成加工技術・微小な容量変化の検出・微細可動PN接合配線の作成加工技術・温度補正・ナノギャップの作成加工技術・微小振動子の作成のためのMEMS技術・PZTやZnO、AlN等の圧電・強誘電体薄膜の成膜・熱処理・微細可動電極の作成加工技術・微小な容量変化の検出・微細可動PN接合配線の作成加工技術・温度補正可動微小電気配線を用いた化学センサ微小可動電極を用いた化学センサMEMS/NEMS技術、ナノ加工による振動子の作成可動微小電気配線を用いた化学センサ微小可動電極を用いた化学センサ質量検出型微小振動子を用いた化学センサ内視鏡用微小光学系(非球面レンズなど)、内視鏡サイズ3~5mm・ナノインプリント・クラスターイオンビーム・複合ビーム加工(ナノ加工による振動子の作成)・複合ビーム加工・ナノインプリント・複合ビーム加工・ナノインプリント・複合ビーム加工(ナノ加工による振動子の作成)・複合ビーム加工・ナノインプリント・複合ビーム加工・ナノインプリント積層型インプリントにより3次元流路を形成低コスト、高精度等機能を有する分析チップ・従来リソグラフィ・ナノインプリント・インクジェット・LIGA・ナノインプリント・LIGA・イオントラック・ナノインプリント・3次元光造形応力検出型センサーMEMS容量変化型センサーMEMS質量検出型センサーMEMS(医療、診断と同様)応力検出型センサーMEMSセキュリティ・防犯用センサーMEMSセンシング、モニタリング容量変化型センサーMEMS質量検出型センサーMEMS(医療、診断と同様)細径内視鏡、高機能内視鏡、高機能カプセル内視鏡生化学検査μ流体チップフォトニック抗体チッププロテインチップDNAチップバイオチップ診断センサー・トランスデューサインプラント材料組織再生促進バイオマテリアル内視鏡システム食品分析センサーMEMS検査・評価健康・福祉安全・安心○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○